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制藥、印染、制造、化工、化纖等行業(yè)在運作過程中會產(chǎn)生大量揮發(fā)性有機污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒法等（詳見：有機廢氣處理組合工藝），對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。